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產(chǎn)品名稱:超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):XD106.XYZ60K

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái),是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),它是專(zhuān)為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì)

更新日期:2025-10-17

XD106.XYZ60K超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)的詳細(xì)資料:

超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),它是專(zhuān)為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì),可進(jìn)行XYZ三維掃描運(yùn)動(dòng),采用低溫壓電驅(qū)動(dòng),耐低溫可達(dá)4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無(wú)磁材料,采用低溫雙絞線,以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。


超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)

· 低溫真空無(wú)磁,耐低溫可達(dá)4K

· XYZ三維運(yùn)動(dòng)

· 4K溫度下位移達(dá)30μm/軸

· 分辨率可達(dá)2nm

· 開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 響應(yīng)速度快


產(chǎn)品應(yīng)用

· 半導(dǎo)體加工


· 半導(dǎo)體檢測(cè)

· 高精密測(cè)試和操作

· 其他真空無(wú)磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等


技術(shù)參數(shù)


型號(hào)
XD106.XYZ60K
運(yùn)動(dòng)自由度
X、Y、Z
驅(qū)動(dòng)電壓
0~60V@常溫
0~150V@低溫4K
標(biāo)稱行程范圍(常溫)
70μm/軸
@0~60V,常溫
標(biāo)稱行程范圍(低溫)
30μm/軸
@0~150V,4K溫度
中心通孔直徑
10mm
分辨率
2nm
空載諧振頻率
X415/Y465/Z497Hz
帶載200g諧振頻率
XY105/Z229Hz
靜電容量
XY5.4μF,Z10.9μF
材質(zhì)
承載能力
200g
重量
220g
使用方向
倒置使用
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