H32.TR4S系列三軸角度運(yùn)動(dòng)高精度壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)
H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)其內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)三維運(yùn)動(dòng)。它具有響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高、負(fù)載大等特點(diǎn)。因其優(yōu)異的性能，可在模擬振動(dòng)環(huán)境中作為模擬振動(dòng)臺(tái)，完成高精度、快速的微振動(dòng)控制，從而滿足用戶對(duì)精密裝備控制精度的測(cè)試分析，以驗(yàn)證和提高精密儀器與裝備的性能。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
產(chǎn)品特點(diǎn)
θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)
θx、θy偏擺角度可達(dá)4.6mrad/軸
θz旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)3.2mrad
分辨率可達(dá)0.05μrad
承載可達(dá)1kg
閉環(huán)版本定位精度高
亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
產(chǎn)品應(yīng)用
振動(dòng)試驗(yàn)
空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)
干涉/計(jì)量
大負(fù)載運(yùn)動(dòng)試驗(yàn)
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | H32.TR4S/K | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy、θz | |
驅(qū)動(dòng)控制 | 4路驅(qū)動(dòng)，3路傳感/4路驅(qū)動(dòng) | |
標(biāo)稱偏擺角度（0~120V） | θxθy: 3.7mrad θz: 2.6mrad | |
Max.偏擺角度（0~150V） | θxθy: 4.6mrad θz: 3.2mrad | |
傳感器類型 | SGS/- | |
分辨率 | θxθy: 0.15/0.07μrad θz: 0.1/0.05μrad | |
閉環(huán)線性度 | 可達(dá)0.03%F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 可達(dá)0.02%F.S. | |
空載諧振頻率 | θxθy: 250Hz θz: 560Hz | |
帶載諧振頻率@1kg | θxθy: 140Hz θz: 200Hz | |
靜電容量 | θxθy: 14.4μF θz: 10.8μF | |
階躍時(shí)間 | 30ms@1kg/10ms | |
承載能力 | 水平安裝 | 1kg |
立式安裝 | 0.5kg | |
倒置安裝 | 0.5kg | |
材質(zhì) | 不銹鋼、鋁合金 | |
重量（不含線） | 2240g | |
配套控制器
E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電，輸出電壓為0~120V或0~150V，開閉環(huán)可選，模擬及數(shù)字控制，可通過串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信，且體積小，非常易于集成。
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