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P84系列壓電千分尺介紹及其應(yīng)用于擠壓/厚度檢測(cè)!

更新時(shí)間: 2020-08-22

P84系列壓電千分尺是宏動(dòng)手動(dòng)調(diào)節(jié)千分尺與電動(dòng)調(diào)節(jié)壓電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相結(jié)合的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。它的宏動(dòng)手調(diào)范圍為13mm,壓電驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)范圍為100μm。精調(diào)精度可達(dá)4nm。

特點(diǎn)

• X向運(yùn)動(dòng),1~3維運(yùn)動(dòng)可選

• 手調(diào)千分尺行程 13mm,分辨率達(dá) 10µm

• 壓電精調(diào)行程 100µm,分辨率達(dá)4nm

• 壓電調(diào)節(jié)可選配傳感器


技術(shù)參數(shù)

型號(hào):P84.X100S
運(yùn)動(dòng)自由度:X      

行程范圍(粗調(diào)+精調(diào)):13mm+100μm

殼體材料:鋼、鋁

粗調(diào)行程范圍:13mm

粗調(diào)分辨率:10μm

粗調(diào)驅(qū)動(dòng)方式:螺紋副(分厘卡)    

粗調(diào)靈敏度:<2μm

粗調(diào)讀數(shù):10微米/格

螺距:0.5mm/rev.

精調(diào)行程范圍@120V:80μm

精調(diào)行程范圍@150V:100μm

精調(diào)傳感器類(lèi)型:SGS

精調(diào)步進(jìn)(分辨率):7 nm, typ.

精調(diào)閉環(huán)線(xiàn)性度:0.1%F.S.

精調(diào)重復(fù)定位精度:0.05%F.S.

精調(diào)運(yùn)動(dòng)方向推力:16N

精調(diào)運(yùn)動(dòng)方向的剛度:1N/μm

承載能力(Z向):500g

工作溫度范圍:-20~80°C

靜電容量:1.8μF

出線(xiàn)長(zhǎng):1.5m

傳感/電壓連接器:LEMO

 

應(yīng)用舉例-擠壓/厚度檢測(cè)

對(duì)于厚度檢測(cè)應(yīng)用,壓電千分尺的粗調(diào)已逐漸不能滿(mǎn)足測(cè)量的要求,特別是對(duì)于待測(cè)厚度非常薄,達(dá)微米甚至納米時(shí),千分尺的步進(jìn)調(diào)節(jié)就達(dá)不到精度要求。因此,在千分尺上集成壓電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),可顯著提高步進(jìn)調(diào)節(jié)精度,可達(dá)納米甚至亞納米級(jí)。

可選配移動(dòng)臺(tái)面

對(duì)于負(fù)載需要額外平臺(tái)來(lái)帶載的應(yīng)用,可選配移動(dòng)臺(tái)面,標(biāo)準(zhǔn)尺寸為65×65mm,臺(tái)面具有M4及M6螺紋孔,可供固定負(fù)載使用。

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