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背景

隨著納米科技的不斷發(fā)展，原子力顯微鏡由于其自身的諸多優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于微觀領(lǐng)域的觀測與操作，AFM等微納米級(jí)測量儀器已成為微納米研究工作者重要的科研工具。原子力顯微鏡的掃描精度在很大程度上取決于內(nèi)部壓電陶瓷管掃描器的性能以及壓電控制器的控制精度。

AFM原子力顯微鏡

AFM原子力顯微鏡原理

AFM原子力顯微鏡是由力學(xué)檢測系統(tǒng)、位置檢測部分、反饋系統(tǒng)三個(gè)部分組成，使用微小懸臂來感測針尖與樣品之間的交互作用，這種作用力會(huì)使得懸臂梁擺動(dòng)，再利用激光將光照射在微懸臂梁的末端，當(dāng)擺動(dòng)形成時(shí)，會(huì)使反射光的位置改變而產(chǎn)生偏移量，此時(shí)激光檢測器會(huì)記錄此偏移量，也會(huì)把此時(shí)的信號(hào)給反饋系統(tǒng)，以利于系統(tǒng)做適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，zui后再將樣品的表面特性以影像的方式呈現(xiàn)出來。

AFM原理圖

壓電陶瓷管掃描器的作用

壓電陶瓷管掃描器載著樣品在X-Y平面內(nèi)做微小運(yùn)動(dòng)，樣品到針尖的距離會(huì)隨著樣品表面形貌的變化而變化，該距離的變化將改變樣品和針尖之間的原子力，原子力的變化會(huì)使得懸臂梁產(chǎn)生法相形變。

通過激光反射路徑的變化檢測出微懸臂梁的反向形變程度，相應(yīng)調(diào)整Z向壓電陶瓷保證樣品和針尖的原子力保持恒定。

由此我們可以看出，實(shí)現(xiàn)X-Y-Z空間三個(gè)方向定位的壓電陶瓷管掃描器在工作過程中非常重要，他們的參數(shù)指標(biāo)直接影響到整個(gè)原子力顯微鏡的掃描成像精度。

壓電陶瓷管掃描器結(jié)構(gòu)

壓電陶瓷管掃描器為徑向極化電極分割的壓電陶瓷管，通常采用四分區(qū)進(jìn)行分割，可以實(shí)現(xiàn)XYZ三維運(yùn)動(dòng)。也可以根據(jù)客戶的要求定制進(jìn)行多區(qū)域分割。

四分區(qū)壓電陶瓷管工作原理：

壓電陶瓷管掃描器為徑向極化壓電陶瓷，內(nèi)部為一個(gè)電極，外部四個(gè)，當(dāng)對外部的某一個(gè)區(qū)域加載正電壓，該區(qū)域軸向收縮，相對另一側(cè)加載負(fù)電壓，該區(qū)域伸長，壓電陶瓷管會(huì)產(chǎn)生一個(gè)平移運(yùn)動(dòng)。當(dāng)外部四個(gè)分區(qū)全部加載正電壓，壓電陶瓷管軸向收縮，當(dāng)內(nèi)部加載滿幅值負(fù)電壓，壓電陶瓷管收縮到zui大位移。

壓電陶瓷尺寸、電極材料可選

芯明天可以提供多種尺寸結(jié)構(gòu)以及鎳或金等不同電極材料的壓電陶瓷管掃描器。

掃描范圍如何計(jì)算

壓電陶瓷管掃描器XYZ軸單側(cè)掃描范圍可以通過以下公式計(jì)算得出：

產(chǎn)品實(shí)例

我們?yōu)橛脩籼峁┑牟煌叽绲膲弘娞沾晒軖呙杵?，滿足不同應(yīng)用需求。

驅(qū)動(dòng)控制方式

XY軸掃描運(yùn)動(dòng)：需要四通道分別對四個(gè)區(qū)域進(jìn)行雙極性驅(qū)動(dòng)。

Z軸掃描運(yùn)動(dòng)：需要對外部四個(gè)區(qū)域加載正電壓，內(nèi)部接地或者內(nèi)部加負(fù)電壓（內(nèi)壁不可以加正電壓）。

我們推薦采用我公司模塊化E01系列雙極性壓電控制器產(chǎn)品，具有模塊化組合，多通道輸出，分辨率高、紋波小等優(yōu)點(diǎn)，可以滿足AFM原子力顯微鏡對壓電陶瓷管掃描器高速、高分辨率的應(yīng)用需求。

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壓電材料

用戶可以根據(jù)需求選擇不同的壓電陶瓷材料，目前zui常用的壓電陶瓷管選用的是PZT-5H材料，具體參數(shù)見下表：