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微光學元件是光電子系統(tǒng)實現(xiàn)小型化的關(guān)鍵部分，它體積小、質(zhì)量輕、造價低等優(yōu)點且可實現(xiàn)普通光學元件很難實現(xiàn)的微小、陣列、集成、成像和波面轉(zhuǎn)換等新功能，因此微光學元件具有非常廣闊的應(yīng)用前景。

微光學元件

     微光學元件的表面輪廓非對稱，它的形狀復雜，加工精度要求高，傳統(tǒng)的加工方法如模仿形加工等加工效率非常低，且很難滿足技術(shù)要求。而微表面制造技術(shù)如激光束直寫技術(shù)等，存在一定的局限，像對材料、設(shè)備要求高，精度一致性差，且工藝可控性也不好等。

為了提升微光學元件加工精度，哈爾濱芯明天科技有限公司設(shè)計研發(fā)生產(chǎn)出新型壓電陶瓷驅(qū)動式P93快刀伺服系統(tǒng)，它具有響應(yīng)速度快、加速度高、定位精度高、輸出力密度大、剛度大、傳動機構(gòu)簡單、系統(tǒng)穩(wěn)定性好、易于控制等優(yōu)點，使其性能參數(shù)滿足快刀加工的技術(shù)要求。從而實現(xiàn)復雜面形零件樣件的超精密加工。

 P93快速刀具定位器

快速刀具定位器在快速車削加工過程中控制刀具產(chǎn)生高頻響、小范圍的Z向快速精密進刀運動，配合高精度的主軸回轉(zhuǎn)及X向位移運動，來完成復雜非面形零件的精密車削加工，在車削加工中起著關(guān)鍵性作用。

刀具工作方式

刀具驅(qū)動式，即快速刀具定位器帶動刀具做高頻響、高精度運動；

載物式，即快速刀具定位器帶載待加工件做高頻響、高精度運動?？筛鶕?jù)客戶具體應(yīng)用要求進行特殊定制。

刀具驅(qū)動式

載物式

采用芯明天快速刀具定位器加工微結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)真正的三維結(jié)構(gòu)加工，成形精度可達到納米級，無須后續(xù)拋光處理，加工效率高，且可加工相對較大尺度的元件，可重復加工具有復雜形狀的各種異形元件，一次加工即可獲得很高的零件尺寸精度、形狀精度和很低的表面粗糙度，能夠?qū)崿F(xiàn)光學微結(jié)構(gòu)的率、高精度、柔性化加工，它已在超精密加工上得到非常廣泛的應(yīng)用，如下圖“手機導光板加工”等。

設(shè)備集成圖

加工效果圖